真空泵的用途及使用的工業類型(xíng)

一、真空泵的用途分(fèn)類：

1、主(zhǔ)泵(bèng)：在真空系統中，用來獲得所要求的真空(kōng)度的真空泵(bèng)。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作(zuò)的真(zhēn)空泵(bèng)。

3、前級泵：用(yòng)以(yǐ)使(shǐ)另一個泵的前(qián)級壓力維(wéi)持在其.高許可(kě)的前級壓力以(yǐ)下的真空泵(bèng)。前級(jí)泵也可以作粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作(zuò)或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真(zhēn)空泵(bèng)：在高真空範圍工作(zuò)的真空(kōng)泵。

7、超高真空泵：在(zài)超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高(gāo)真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用來提高抽(chōu)氣系統在中間壓力範圍(wéi)内的(de)抽氣量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空(kōng)泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真(zhēn)空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真(zhēn)空泵：适用于真空蒸餾、真空(kōng)濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水(shuǐ)環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要(yào)抽(chōu)水蒸氣時一(yī)定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑(huá)閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹(gàn)燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真空(kōng)浸漬、真空(kōng)幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。絕大多數羅茨泵(bèng)都不能用于直排大(dà)氣，需要(yào)配備旋(xuán)片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以(yǐ)直排大氣，主要(yào)用于造紙(zhǐ)工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處(chù)理等工藝。它(tā)與機械增壓泵(bèng)相類似(sì)，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽取高真(zhēn)空，本身(shēn)不能直排大氣，必(bì)須配備前級泵使用(yòng)。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形(xíng)泵)：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如半(bàn)導體行(háng)業、電子行業、化工(gōng)行業等各種工藝中，這幾種泵都(dōu)能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀(yí)器、表面(miàn)儀器、以及各種要求清潔無油的真(zhēn)空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(bèng)(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、熱核物理、等離子體物理、超導技(jì)術等工作中。

10、分子(zǐ)泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于(yú)真空倒料(liào)、真(zhēn)空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶(yě)煉、真空脫氣、真空(kōng)蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表面物(wù)理(lǐ)、超導技術、宇航技術等領域中。