真空泵的用途及使用的工業(yè)類型

一、真空(kōng)泵的用途分類：

1、主泵：在真空系(xì)統(tǒng)中，用來(lái)獲得所要求的真空度的真空(kōng)泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始，降低(dī)系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個(gè)泵的前(qián)級壓力維持在其.高許可的(de)前(qián)級壓力以下的真空泵。前級泵也可以(yǐ)作粗抽泵使用。

4、維持(chí)泵：在真空系統中配置一種容量較(jiào)小的輔助前級泵，維持主泵正常工(gōng)作或維(wéi)持已抽空的容器所需(xū)之低(dī)壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作(zuò)在低真空範圍的(de)真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工(gōng)作的真空泵。

7、超(chāo)高(gāo)真(zhēn)空泵：在超高真空範圍内工作的(de)真空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間(jiān)，用來(lái)提高抽氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵容量要(yào)求(qiú)的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等(děng))。

二、各種真空泵适用的工藝類(lèi)型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空幹燥、真空保(bǎo)鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空(kōng)蒸餾、真空濃縮、真空(kōng)浸(jìn)漬、真空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼(gāng)液真空處理等工藝。往複真空泵與(yǔ)水環真(zhēn)空泵的使(shǐ)用工藝基本相同(tóng)。但是，往(wǎng)複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣(qì)時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系(xì)統冷(lěng)卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋(xuán)片泵、定片泵)：适用于真空(kōng)蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空(kōng)釺焊、真空鍍膜、真空(kōng)熱(rè)處理等工藝(yì)。當前，油封(fēng)機械真空(kōng)泵作為直排大氣的真空泵，使(shǐ)用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵(bèng))：适用于(yú)真空燒結、真空釺焊、真空浸(jìn)漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主(zhǔ)要用于造紙工業。

5、油增壓泵(bèng)：适用于真空冶煉(liàn)、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵相類似(sì)，不能(néng)直排大氣，必須用旋片泵(bèng)或滑閥泵(bèng)等作為前級泵使(shǐ)用。

6、油擴(kuò)散泵：适用(yòng)于真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空(kōng)分(fèn)析儀器、真空檢漏儀(yí)、生産電真空器件(jiàn)、宇宙空間模拟、加速器真空(kōng)系統等工藝中使用。它适合(hé)于抽取高(gāo)真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(bèng)(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程，例(lì)如半(bàn)導體行業、電子行業、化工行業等各(gè)種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電子器件(jiàn)、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及(jí)各種要求清(qīng)潔無油(yóu)的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍(dù)膜、電真空器件(jiàn)、大規模集(jí)成電路、表面物理、表面化學、熱(rè)核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于(yú)真(zhēn)空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物(wù)理、光學儀(yí)器、熱核反應、宇航技(jì)術等(děng)工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品(pǐn)、制磚、真空除氧等工業領(lǐng)域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空(kōng)冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空(kōng)幹燥、真(zhēn)空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。