真空泵的用途及使用的工業類(lèi)型
一、真空泵的用(yòng)途分(fèn)類:
1、主泵:在真空系統中,用來獲(huò)得所要求的真空度的真空泵。
2、粗抽泵:從大氣壓開始,降低系統的壓(yā)力(lì)達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。
3、前級泵:用以使另一個泵的前(qián)級壓力維持在其(qí).高許可的前級壓(yā)力(lì)以(yǐ)下的真空泵。前級泵也(yě)可以作(zuò)粗抽泵使用。
4、維(wéi)持泵:在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔(fǔ)助前級泵,維持主泵正常(cháng)工作(zuò)或維持已抽空(kōng)的容器所需之(zhī)低壓的真空泵。
5、粗(低(dī))真空泵:從大氣壓開(kāi)始,降低容器(qì)壓力且工(gōng)作在(zài)低(dī)真空範圍的真空泵。
6、高真空泵:在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。
7、超高真空泵:在超高真空範圍(wéi)内工作的真空泵(bèng)。
8、增壓泵:裝(zhuāng)在高(gāo)真空泵(bèng)和低真空泵之間,用來提高抽(chōu)氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或(huò)降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。
二(èr)、各種真空泵适用的(de)工藝類型:
1、水環(huán)真空泵:适用于真空濃縮(suō)、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥(zào)、真空保鮮、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空輸送、真空成型等工藝。
2、往(wǎng)複真(zhēn)空泵:适用于真空蒸餾、真空(kōng)濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空幹(gàn)燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是,往複真空泵不能直(zhí)接抽水蒸(zhēng)氣,需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。
3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片(piàn)泵、定片泵):适用于(yú)真(zhēn)空蒸餾、真空幹(gàn)燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空(kōng)鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當前,油封機械真空泵作為直排(pái)大氣的真空泵,使用的量大面(miàn)廣。
4、羅茨真(zhēn)空泵(機(jī)械增壓泵):适用于真空燒(shāo)結(jié)、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉(liàn)等工藝。絕大多數羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣,需要配備旋片泵或(huò)滑閥泵(bèng)作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣,主要用于造紙(zhǐ)工業。
5、油增壓泵:适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊(hàn)、真空熱處(chù)理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類(lèi)似,不能直排(pái)大氣,必須用(yòng)旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。
6、油(yóu)擴散泵:适用于真空鍍膜、真空(kōng)熱處理、真空冶煉、真空提(tí)純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真空器件、宇宙空間模拟(nǐ)、加速器真空(kōng)系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽(chōu)取高真(zhēn)空,本身不能直排大氣,必須配備前級泵使用。
7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵(bèng)):适用于無油清潔的真空工藝過程,例如半導體行業、電子行業、化工行(háng)業等各種工藝中,這幾種泵都(dōu)能直排大氣。
8、吸(xī)附泵(bèng):适合于各種真空(kōng)電子器件、集成電路、分(fèn)析儀器、表面(miàn)儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。
9、钛泵(濺射離子泵、升華泵):适用于真空鍍膜、電真空器件、大(dà)規模集成電路(lù)、表面物(wù)理、表面化學、熱(rè)核物理、等離子體物理、超導技術等工作(zuò)中。
10、分子泵:适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器(qì)、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工作中。
11、水噴射泵:适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真(zhēn)空除氧等工業領域(yù)。
12、水蒸氣噴射泵:适合于真空冶(yě)煉、真空脫(tuō)氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。
13、低溫(wēn)泵:适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航(háng)技術等領域中(zhōng)。