真空泵的用途(tú)及使用的工業類(lèi)型(xíng)

一、真空泵的用途分類：

1、主泵(bèng)：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的(de)真空度的真空泵(bèng)。

2、粗抽(chōu)泵：從(cóng)大氣壓開始(shǐ)，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系(xì)統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用(yòng)以使另一個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空泵。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之(zhī)低(dī)壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降(jiàng)低容器壓力且工作在低真空範圍(wéi)的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空泵：在超高(gāo)真空範圍(wéi)内工作的真空泵(bèng)。

8、增(zēng)壓泵：裝在高(gāo)真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用來提高抽(chōu)氣系統在(zài)中間壓力範圍内的(de)抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用(yòng)的(de)工藝(yì)類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵(bèng)：适用于真空蒸餾、真空濃(nóng)縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與(yǔ)水環真空泵的使用工藝(yì)基(jī)本相同。但是，往複真空泵不能直(zhí)接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于(yú)真空(kōng)蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真(zhēn)空絕(jué)熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排(pái)大氣的真空泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機(jī)械增壓泵)：适用于真空(kōng)燒(shāo)結、真空釺焊、真空(kōng)浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉(liàn)等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅(luó)茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油(yóu)增壓泵：适用于真空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵相類似，不能直排大(dà)氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真空鍍膜、真空(kōng)熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟、加速器真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于(yú)抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使(shǐ)用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過程，例如(rú)半導體行業、電子行業、化工(gōng)行(háng)業等各種工藝中，這(zhè)幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各(gè)種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面(miàn)儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵、升(shēng)華泵(bèng))：适(shì)用于真空鍍膜、電真(zhēn)空器(qì)件、大規模集成(chéng)電路(lù)、表面物理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表(biǎo)面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真(zhēn)空倒料(liào)、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空(kōng)除氧等工業(yè)領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶(yě)煉、真(zhēn)空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業(yè)領域。

13、低溫(wēn)泵：适合(hé)于真空鍍膜、表面物理(lǐ)、超導技術、宇航(háng)技術等領域中。