真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲(huò)得所要求的(de)真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系(xì)統的壓力(lì)達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以(yǐ)使另一(yī)個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持(chí)泵：在真空系統中(zhōng)配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作(zuò)或維持已(yǐ)抽空(kōng)的容器所需之(zhī)低壓的真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣壓開(kāi)始，降低容器(qì)壓(yā)力且(qiě)工作在低真空(kōng)範圍的真空泵(bèng)。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的(de)真空泵。

7、超高真空泵(bèng)：在超高真空範圍(wéi)内工作的(de)真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓(yā)力範圍内(nèi)的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種(zhǒng)真空泵适用(yòng)的(de)工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水(shuǐ)、真空脫色、真空(kōng)幹(gàn)燥、真空保鮮、真空儲藏、真空(kōng)輸送、真空(kōng)成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾(liú)、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真(zhēn)空造(zào)型、真空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不(bú)能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水(shuǐ)蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空泵(包(bāo)括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封(fēng)機械真空泵作為直排(pái)大氣的(de)真空(kōng)泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)：适(shì)用于真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等(děng)工藝。絕大多數(shù)羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵(bèng)或滑(huá)閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油(yóu)增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它(tā)與機(jī)械增壓泵(bèng)相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作(zuò)為前級(jí)泵使用。

6、油擴散泵：适用于(yú)真空(kōng)鍍膜、真空熱(rè)處理(lǐ)、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分(fèn)析儀器、真空檢漏儀(yí)、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間(jiān)模拟(nǐ)、加速器(qì)真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這幾(jǐ)種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空(kōng)電(diàn)子器件、集成電路、分(fèn)析儀器、表面儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵(bèng)、升(shēng)華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成(chéng)電路(lù)、表面物理、表面(miàn)化學、熱核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子(zǐ)泵：适(shì)用于真空鍍膜(mó)、集成電路、表面物理、表(biǎo)面化學、等離子體物理、光學儀器(qì)、熱核反應、宇(yǔ)航技術(shù)等工作中。

11、水噴射泵(bèng)：适合于(yú)真空倒(dǎo)料、真空輸送、化工、化(huà)纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除(chú)氧等工業(yè)領域。

12、水蒸氣噴射(shè)泵：适合于真空冶(yě)煉、真空脫氣、真空(kōng)蒸發、真空幹燥、真空回潮等(děng)工業領域。

13、低溫(wēn)泵：适合(hé)于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航(háng)技術等領(lǐng)域中。