真空泵的用途及使用的工業類(lèi)型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲(huò)得(dé)所要求的真空(kōng)度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始，降低系統的壓(yā)力(lì)達到(dào)另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使(shǐ)另一個(gè)泵的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前(qián)級壓力以(yǐ)下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中(zhōng)配置一種容量較(jiào)小的輔(fǔ)助前級泵，維持主泵正常(cháng)工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開(kāi)始，降低容器壓力且(qiě)工(gōng)作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空(kōng)泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽(chōu)氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真(zhēn)空(kōng)濃縮(suō)、真空脫水、真空脫色、真空幹(gàn)燥、真空保鮮、真空儲藏(cáng)、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往(wǎng)複真(zhēn)空泵：适用于真空蒸餾、真空濃(nóng)縮、真空浸(jìn)漬、真(zhēn)空過濾、真空造(zào)型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真(zhēn)空處理等(děng)工藝。往複(fú)真(zhēn)空泵與水環真空(kōng)泵的使用工藝基(jī)本相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽(chōu)水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹(gàn)燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真(zhēn)空鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工(gōng)藝。當前，油封機械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真空泵(bèng)(機(jī)械增壓泵)：适用于(yú)真空燒結(jié)、真空釺焊、真空浸漬(zì)、真空幹燥(zào)、真空鍍膜、真(zhēn)空輸送、真空冶煉(liàn)等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造紙(zhǐ)工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處(chù)理等工藝。它與機械增壓泵相類(lèi)似，不能直排大(dà)氣，必須用(yòng)旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級(jí)泵使用。

6、油(yóu)擴散泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空熱處理、真(zhēn)空冶煉、真空提純、真空分析儀(yí)器(qì)、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空間模拟、加速器真空系統等工藝中使用。它适合于抽取高真(zhēn)空，本身(shēn)不能直排大氣，必(bì)須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過(guò)程，例如半導體行業、電子行業、化工(gōng)行(háng)業等各種工藝中，這幾種泵都能(néng)直排大氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空(kōng)電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛(tài)泵(bèng)(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器件、大(dà)規模集成電路、表面(miàn)物理、表面(miàn)化學、熱核(hé)物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子(zǐ)泵：适(shì)用于真空鍍膜、集成(chéng)電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真(zhēn)空倒(dǎo)料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域。

12、水蒸氣(qì)噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹(gàn)燥、真(zhēn)空回潮等工業(yè)領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理(lǐ)、超導技術、宇航(háng)技術等領域中。