真空泵的用途及(jí)使用的工業類型(xíng)

一、真(zhēn)空泵的用途分類：

1、主(zhǔ)泵：在真空系統中，用來獲(huò)得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣壓開始(shǐ)，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始(shǐ)工作(zuò)的真(zhēn)空泵。

3、前(qián)級泵：用以(yǐ)使另一個泵(bèng)的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓力(lì)以下的真空泵。前級(jí)泵(bèng)也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量較(jiào)小的輔助前級泵，維持主泵正常工作(zuò)或維持已抽空(kōng)的容器所需之低(dī)壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且(qiě)工作在(zài)低真空範圍的真空泵。

6、高真空(kōng)泵：在高真空範圍工作的真(zhēn)空泵。

7、超高真空泵：在(zài)超高(gāo)真空範圍(wéi)内工(gōng)作的真空泵(bèng)。

8、增(zēng)壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間(jiān)壓力範圍(wéi)内(nèi)的抽氣量或(huò)降低前級泵(bèng)容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油(yóu)增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适(shì)用于真(zhēn)空濃縮(suō)、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空輸(shū)送、真空成型等工藝。

2、往複真(zhēn)空泵：适用于真空蒸(zhēng)餾(liú)、真空濃縮、真空浸(jìn)漬、真空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝基本(běn)相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采(cǎi)用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包(bāo)括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕(jué)熱、真空釺焊(hàn)、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封(fēng)機械真(zhēn)空泵作為直排(pái)大氣的(de)真空(kōng)泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空(kōng)幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空(kōng)冶煉(liàn)等工藝。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造紙(zhǐ)工業(yè)。

5、油增壓泵：适用于真空冶(yě)煉、真空燒結、真空釺(qiān)焊、真空熱處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類似(sì)，不能直排(pái)大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作(zuò)為(wéi)前級(jí)泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提(tí)純(chún)、真空分析儀(yí)器(qì)、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟、加速器真空(kōng)系統等工藝中使用。它适合于(yú)抽取高真空，本身不能直排大氣，必(bì)須配備前級(jí)泵使用。

7、幹式真(zhēn)空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導體行(háng)業、電子行(háng)業、化工(gōng)行業等各種工藝(yì)中，這(zhè)幾種泵都(dōu)能(néng)直排(pái)大氣。

8、吸(xī)附泵(bèng)：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面(miàn)儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面物理、表面化學(xué)、熱核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表(biǎo)面化學、等離子體物理(lǐ)、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工(gōng)作(zuò)中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射(shè)泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等(děng)工業領域。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍膜、表(biǎo)面物理、超導技術、宇航技術等領域中。