真空泵的用途(tú)及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主(zhǔ)泵：在真(zhēn)空系統中，用來獲(huò)得所要求(qiú)的真空度的(de)真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開(kāi)始，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始(shǐ)工作的真空泵。

3、前級泵：用以使(shǐ)另一個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力(lì)以下的真空泵。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維(wéi)持泵：在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工(gōng)作或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的(de)真空(kōng)泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器(qì)壓力且工作在(zài)低真空範圍的真空泵(bèng)。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空泵(bèng)：在(zài)超高真空範圍(wéi)内工作的真空泵。

8、增(zēng)壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力範圍内的抽氣量或(huò)降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓(yā)泵和(hé)油增壓泵等)。

二、各種真空(kōng)泵适用的工藝(yì)類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水(shuǐ)、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸(zhēng)餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空處理等(děng)工藝。往複真空泵與(yǔ)水環(huán)真空(kōng)泵的使用工藝基本相同。但是(shì)，往複真空泵不能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要(yào)抽水蒸氣時(shí)一定(dìng)要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真(zhēn)空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真(zhēn)空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍(dù)膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為(wéi)直排大氣的真空泵，使用的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适(shì)用于真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉(liàn)等(děng)工藝。絕大多數羅茨泵都不(bú)能用于直排大氣，需要(yào)配備旋(xuán)片泵或滑閥泵作(zuò)為前級(jí)泵使用。濕式羅(luó)茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于(yú)真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊、真空熱(rè)處理等工藝。它與機械增壓泵相類似(sì)，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空(kōng)熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀(yí)器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟、加速器(qì)真空系統等工(gōng)藝中使用。它适合于(yú)抽取高真空，本身不能直排大氣，必(bì)須配備前級泵(bèng)使用。

7、幹式真空泵(bèng)(螺杆泵、渦旋泵、爪形(xíng)泵)：适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化(huà)工行業等各種工藝中，這幾種泵都能直排大(dà)氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電(diàn)子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的(de)真空系統中使用。

9、钛(tài)泵(濺射離子泵(bèng)、升(shēng)華泵)：适用于真空(kōng)鍍膜(mó)、電真空器件、大規模集成電路(lù)、表面物(wù)理、表面化學(xué)、熱核物理、等離子體(tǐ)物理、超導技術等工作中。

10、分子泵(bèng)：适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化(huà)學、等離子體物理(lǐ)、光(guāng)學儀器、熱核反應、宇航技術等工作(zuò)中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制(zhì)藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域(yù)。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真(zhēn)空冶(yě)煉、真空脫氣、真空(kōng)蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表(biǎo)面物理(lǐ)、超導技術、宇航技術等領域中。