真空泵的用途(tú)及使用的工業類型

一、真(zhēn)空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲(huò)得所要求的真空(kōng)度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一(yī)個泵(bèng)的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓(yā)力以下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。

4、維(wéi)持(chí)泵：在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔助前級泵，維持主(zhǔ)泵正常工作或維持已(yǐ)抽空的容器所需之低壓的真空(kōng)泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工(gōng)作在低真空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作(zuò)的真空泵。

7、超高真空(kōng)泵(bèng)：在超高真空範圍内工作的真空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝(zhuāng)在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽氣系統在中間壓(yā)力範圍内的抽氣(qì)量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真(zhēn)空(kōng)泵适用的工藝(yì)類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥(zào)、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真空(kōng)成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾(liú)、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造(zào)型、真空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水環真空(kōng)泵的使用工藝(yì)基本相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸(zhēng)氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包(bāo)括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适用于(yú)真空蒸餾、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕(jué)熱、真空釺焊、真空(kōng)鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當(dāng)前，油封機械真空泵作為直排大氣的(de)真空泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增(zēng)壓泵)：适用于(yú)真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真(zhēn)空輸送、真空冶煉(liàn)等工藝。絕大多數羅茨泵都不(bú)能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵(bèng)使用。濕式羅茨泵(bèng)可以直排大氣，主要用于造(zào)紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱(rè)處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相(xiàng)類似，不能直排大氣，必須用(yòng)旋片泵或滑閥泵等作為(wéi)前級泵使用。

6、油擴散泵：适(shì)用于真空鍍膜、真空熱(rè)處理、真(zhēn)空冶煉、真空提純、真空分(fèn)析儀(yí)器、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真空器件、宇宙空間模拟(nǐ)、加速器(qì)真空系統等工(gōng)藝(yì)中使用。它适合于抽取高(gāo)真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用(yòng)。

7、幹式真空泵(bèng)(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵(bèng))：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等(děng)各種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

8、吸(xī)附泵：适合于各種真空電(diàn)子器件、集成電(diàn)路、分析儀(yí)器、表面(miàn)儀器、以及各種要(yào)求清潔無油的(de)真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路(lù)、表面物理、表面化學、熱(rè)核物理、等離(lí)子體物理(lǐ)、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表(biǎo)面化學、等離子體物理(lǐ)、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵(bèng)：适合于真(zhēn)空倒料(liào)、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除(chú)氧等工業領域。

12、水蒸氣噴(pēn)射泵：适合于真空冶煉、真空脫(tuō)氣、真空蒸發、真空幹燥、真空回潮等工業領域(yù)。

13、低溫泵：适合(hé)于(yú)真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。