真空泵的用途及使用(yòng)的工業類型

一、真空泵的用途分(fèn)類：

1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用來獲(huò)得所要求的真空(kōng)度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始(shǐ)，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前(qián)級泵：用以使另一個泵的前級壓力維(wéi)持在其.高許可的前級壓(yā)力以下的真空泵。前級泵也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低(dī)壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓(yā)開始，降低容器壓力且工作在低真空範圍的真空泵。

6、高真(zhēn)空泵：在高真(zhēn)空範圍工作(zuò)的真空(kōng)泵。

7、超高真空(kōng)泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽氣(qì)系統在中間壓(yā)力範圍内(nèi)的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機械增壓(yā)泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸(shū)送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往(wǎng)複真(zhēn)空泵：适用于(yú)真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空幹(gàn)燥、鋼液真空(kōng)處理等工藝。往複真空泵與水環真空泵的使用工藝基本相同。但是，往複真空泵不(bú)能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制(zhì)冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵(bèng)、旋片泵、定片泵)：适(shì)用于真空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸漬、真(zhēn)空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為(wéi)直排大氣的真空泵，使用的量大面(miàn)廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(bèng)(機械增壓泵)：适用于真空燒(shāo)結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空(kōng)輸送、真空冶煉等(děng)工藝。絕(jué)大多數羅茨泵都不能用(yòng)于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作(zuò)為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主(zhǔ)要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊(hàn)、真空熱(rè)處理等工藝。它(tā)與機械增壓泵相類(lèi)似，不能直排大(dà)氣，必須用(yòng)旋片泵(bèng)或滑閥(fá)泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空(kōng)鍍膜、真空(kōng)熱處理、真空冶煉、真空提純(chún)、真空分析儀(yí)器(qì)、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真空器件、宇宙空間模(mó)拟(nǐ)、加速器(qì)真空系統等工藝中使用。它适合于抽取(qǔ)高(gāo)真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過(guò)程，例如(rú)半導體(tǐ)行(háng)業、電子行業、化工行(háng)業等各種工(gōng)藝中，這(zhè)幾種泵都能(néng)直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電子器件、集成電(diàn)路、分析儀(yí)器、表面儀器、以(yǐ)及各種要求清潔無油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路(lù)、表面物理、表面化學、熱核物理、等離(lí)子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜(mó)、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等離子體物理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴(pēn)射泵：适合于真(zhēn)空倒料、真(zhēn)空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒(shāo)堿、制糖、食(shí)品、制磚、真空除氧等工業領域。

12、水蒸氣噴射泵(bèng)：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空幹燥、真(zhēn)空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理(lǐ)、超導技術、宇航技術等領域中。