真空泵的用途(tú)及使用(yòng)的工業類型

一、真(zhēn)空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲(huò)得(dé)所要求的真空度的真空泵(bèng)。

2、粗抽(chōu)泵：從大氣(qì)壓開始(shǐ)，降低系統的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始(shǐ)工作的真空泵。

3、前級泵：用(yòng)以使(shǐ)另一個泵的前級壓力維持在其.高許可的前級壓力以(yǐ)下的真空泵。前級泵(bèng)也可以作(zuò)粗抽泵使用。

4、維持泵：在真空系統中配置(zhì)一種容量較小的輔(fǔ)助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空(kōng)的容器所需之低壓的(de)真空泵。

5、粗(低)真空泵：從(cóng)大氣壓開始，降低容器壓力且工作在(zài)低真空範圍的真空泵。

6、高真(zhēn)空泵：在高真空範圍工作的(de)真空泵。

7、超高真空泵：在超高(gāo)真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真(zhēn)空泵和低真空泵之間，用(yòng)來提高抽氣系統在中間壓(yā)力範圍内的抽氣量或(huò)降低前級泵(bèng)容量要求的(de)真空(kōng)泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝(yì)類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水(shuǐ)、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空保鮮、真空(kōng)儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往(wǎng)複真空泵(bèng)：适用于真空蒸餾(liú)、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造(zào)型、真(zhēn)空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真空泵與水環真(zhēn)空泵的使用工藝(yì)基本(běn)相同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷(lěng)阱，采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(包(bāo)括滑(huá)閥泵、旋片泵、定片泵)：适用于真空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空(kōng)鍍膜、真空熱處理(lǐ)等工藝。當前，油封機(jī)械真空泵作為(wéi)直排大氣的真空泵，使用(yòng)的量大面廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓泵)：适用于(yú)真空燒結、真空釺焊、真空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工(gōng)藝(yì)。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大(dà)氣，需要配備旋片泵或滑閥泵(bèng)作為前級泵使用。濕式羅(luó)茨泵(bèng)可以(yǐ)直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊(hàn)、真空熱(rè)處理等工藝。它與機械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴(kuò)散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空(kōng)間模拟(nǐ)、加速器真空系統等工藝中使用。它适合于抽取高真(zhēn)空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過(guò)程，例如(rú)半導體行(háng)業、電子行業、化工行業等各種工(gōng)藝中，這幾種泵都(dōu)能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各(gè)種真空電子器件、集成電路、分(fèn)析儀器、表面(miàn)儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛(tài)泵(bèng)(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空(kōng)器(qì)件、大規模集成電路(lù)、表面物理、表面化學、熱(rè)核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面(miàn)物理、表面化學、等(děng)離子體物理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥(yào)、油漆、油脂、造紙、燒堿(jiǎn)、制糖、食品、制磚、真空除(chú)氧等工業領(lǐng)域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空幹燥、真(zhēn)空回潮等工業(yè)領(lǐng)域。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍膜、表面物(wù)理、超導技術、宇航技術等領域中。